江苏石墨舟的清洗工艺您是否了解呢

文章来源：http://jiangsu.cgsmmj.com/news720671.html 发表时间：2020-08-25

石墨舟是非常重要的江苏石墨加工制品，在半导体加工等行业等行业当中应用价值非常大，那么该产品的清洗工艺您是否了解呢？接下来我们一起来看看有关于江苏石墨制品厂家的介绍：
一、清洗方法介绍：
1、新舟在使用前建议使用去离子水+10%（体积比）的氢氟酸进行清洗约3~5小时；再用去离子水进行漂洗8~12小时；直到确认舟体没有酸性成分，可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干。

2、使用后石墨舟的清洗：石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三轮次来清洗，每次4-5小时，并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的清洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余。然后按照要求进行烘干。

石墨舟

二、清洗注意事项：
1、由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。
2、建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部位进行清洗，这样能将各个接触部位清洗的更彻底。目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于氢氟酸对陶瓷部件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应部件的使用寿命。