江苏石墨替代块的性能:
(1)耐高温:石墨替代块是目前已知的较为耐高温的材料之一,其熔点为3850℃±50℃,沸点达4250℃,它在7000℃超高温电弧下10S,石墨的损失较小按重量级石墨损失0.8%,由此可见石墨的耐高温性能是很突出的;
(2)导热性和导电性:石墨具有良好的导热性和导电性,与一般的材料相比,其导热导电性是相当高的,比不锈钢高4倍,比碳素钢高2倍,比一般的非金属高100倍;
(3)特殊的抗热震性能:石墨具有良好的抗热震性能,即当温度突然变化时,热膨胀系数小,因而具有良好的热稳定性,在温度激冷即热的变化时,不会产生裂纹;
(4)润滑性:石墨的润滑性能类似于二硫化钼,摩擦系数小于0.1,其润滑性能随鳞片大小而变,鳞片愈大,摩擦系数愈小,润滑性愈好;
(5)化学稳定性:常温下石墨具有良好的化学稳定性。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用江苏石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的江苏石墨坩埚、江苏石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯江苏石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。