石墨可以分三种,高纯石墨、普通石墨和再生石墨。
下面就由石墨筒厂家介绍这三种石墨的特征:
1、高纯石墨:纯度高、密度高、强度高。导热率高,耐高温性能比其他物质都高,在2500℃的高温下,抗压强度不但不降低,反而提高二倍,摩擦系数低,热膨胀系数低,耐酸耐碱,电阻率低等良好的机械性能;
2、普通石墨:主要用来炼钢电级,铸造炉用电级,玻璃融化炉电级等;
3、再生石墨:主要用于化工容器防腐蚀村办、石墨阳极、冶金炉用石墨溜槽、塞棒等。
人造高纯石墨筒具有强度好、耐高度、耐腐蚀、易于精加工、摩擦系数小,导热性能好,导电性能好等特性,是其他物质无可替代的非金属材料。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的江苏石墨坩埚、江苏石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。