产品名称:江苏石墨消解仪
石墨消解仪的注意事项:
1、安全:样品处理需要用到各种不同的酸,如盐酸、硝酸,氢氟酸等,大部分酸具有挥发性并且对人体有害,因此建议在通风的环境下使用仪器,并做好各种防护措施,使用含有HCLO4的消解剂的时候,控制好的HCLO4量和消解温度等条件,安全才有保障,否则有燃烧、爆炸的危险;
2、使用:在说明书制定的工作环境下使用,不用的时候要拔掉电源,清洁是模块表面污垢的时候,要用布轻轻擦拭,尽量不使用有机溶剂,不能损坏表面的涂层;
3、储存:仪器长期不用的时候,按照说明书制定的储存环境存放。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用江苏石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的江苏石墨坩埚、江苏石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯江苏石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。