江苏石墨垫片是由柔性石墨拨片切割而成的,根据应用的需要共分为四种类型:
(1)柔性江苏石墨垫片:从柔性石墨薄片上切割而成,用于管道法兰和阀盖等。建议这种垫片都为小直径垫片,这取决于它的低机械强度;
(2)柔性石墨垫片MI:带钩的碳钢薄片被柔性石墨薄片夹在中间,然后被切割成特定的尺寸,机械强度很高;
(3)柔性石墨垫片PM:柔性石墨薄片被粘附在0.2毫米厚的304不锈钢薄片的两面,具有很高的机械强度并且易于运输,由于它也可以被切割成复杂的形状,这种垫片被广泛的应用在各种工业中;
(4)柔性石墨垫片PM-A:将T/#1215中的不锈钢薄片换成316钢。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用江苏石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的江苏石墨坩埚、江苏石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯江苏石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。