目前石墨热场中所用的江苏石墨坩埚的主体原料,是结晶形天然石墨,它保持着天然石墨原有的各种理化特性。
江苏石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。
石墨坩埚通俗来讲就是一种加热的容器,在我们的日常生活中,可能会遇到一些物品在加热的时候发生融化,这样对我们的生活带来很大的困扰。人们通过这种石墨坩埚进行冶炼,在保证顺利生产的时候也能避免发生烫伤的事故,这对于我们的生活是非常有帮助的。石墨坩埚现在已经被广泛的应用,因为它具有高温冰融化特征,因此才会被广泛应用于合金工具钢的冶炼和有色金属以及其合金的熔炼。
石墨坩埚规格通常使用顺序号大小表示的,1号坩埚具有能熔化1000g黄铜的容积,其重量为180g。石墨坩埚在熔炼不同金属或合金时熔化量计算,可以坩埚的容重规格号,乘上相应金属和合金系数。
1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。
2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。
3、离子注入用江苏石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。
4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、江苏石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯江苏石墨加热器、保温罩等。
5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。